薄膜测厚仪


韩国K-MAC (株) 公司和附属韩国物理性质分析研究所主要开发生产具有高科技含量的物理化学分析仪器和应用仪器。仪器的适用范围有半导体，医疗，环境及工程监控等。 公司还通过表面和构造分析服务，提供半导体等精密部件的研究开发所需的必要数据。 

1. 薄膜厚度测量仪ST系列
ST2000简介
产品型号/规格
The advantage of infinity - corrected optics Optics solve the problem of coma aberration by using a new tube lens 
Stage Size: 150 x 120mm(70 x 50mm Travel Distance)
Measurement Range: 200Å~ 35μ m(Depends on Film Type)
Spot size: 20μm Typically
Measurement Speed: 1 sec/site Typically

Application Areas:
*Polymers : PVA, PET, PP, PR ...
*Dielectrics : SiO2, TiO2, ITO, ZrO2, Si3N4 ..
*Semiconductors : Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS...
*Supporting up to 3 Layers

*Supporting Backside Reflection
 
优点： 
1) 因为是利用光的方式，所以是非接触式，非破坏式，不会影响实验样品。
2) 可获得薄膜的厚度和 n,k 数据。 
   
3) 测量迅速正确，且不必为测量而破坏或加工实验样品。 

4) 可测量 3层以内的多层膜。

5) 根据用途可自由选择手动型或自动型。 

6) 产品款式多样，而且也可以根据顾客的要求设计产品。
7)可测量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 3“ 8)Table Top型, 适用于大学,研究室等
如需了解其余型号，请访问Kmac 公司网站 http://www.kmac.to, 或联系本人email: flei1982@kmac.如果有兴趣者，可以提供样品，我们将帮助你免费测试。

2. 分光光度计系列
型号1： Lab Junior                                400-850nm
型号2： Spectra Academy(vis)              400-850nm
型号3： Spectra Academy(UV/vis)        200-800nm
精确并且精致。操作简单，三种模式：吸收/透射模式，反射模式，发光模式，可简单转换。

光学薄膜测厚仪（膜厚仪） (SpectraThick Series) 的核心技术介绍和原理说明 
SpectraThick series的特点是非接触, 非破坏方式测量的膜厚仪，无需样品的前处理，软件支持Windows操作系统等。ST series是使用可视光测量wafer，glass等substrates上形成的氧化膜，氮化膜，Photo-resist等非金属薄膜厚度的仪器(膜厚仪)。
测量原理如下：在测量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可视光，这时光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层 (wafer或glass)之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。SpectraThick series就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。
仪器的光源使用Tungsten Lamp，波长范围是400 nm ~ 800 nm。从ST2000到ST7000使用这种原理，测量面积的直径大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作为K-MAC (株) 最主要的产品之一，有image processs功能，是超越一般薄膜厚度测量仪器极限的新概念上的厚度测量仪器。测量面积的最小直径为0.2μm，远超过一般厚度测量仪器的测量极限 (4μm)。顺次测量数十个点才能得到的厚度地图 (Thickness Map) 也可一次测量得到，使速度和精确度都大大提高。这一技术已经申请专利。
K-MAC (株) SpectraThick series的又一优点是一般仪器无法测量的粗糙表面 (例如铁板，铜板) 上形成的薄膜厚度也可以测量。这是称为VisualThick OS的新概念上的测量原理。除测量薄膜厚度外还有测量透射率，玻璃上形成的ITO薄膜的表面电阻，接触角度 (Contact Angle) 等的功能。

科美仪器(昆山)研发有限公司是韩国科美公司在中国设立的分公司. 
1996年以来，科美在半导体，平板显示器，电子物质，生命科学和化学分析上，研发和提供了独特的，先进的解决方案。科美，作为测量和分析技术市场上的领头和动力，从它创立以来，已经取得了非凡的发展，并以它突出的表现得到了世界范围的认可。科美一直设法关注客户的需求。我们不仅仅为我们的客户提供最好的产品和服务，我们还听取他们的意见，对他们目前的、未来预计的需求作出最快的答复。为了跟上新的挑战和机会，科美潜心研究和发展。我相信这是我们公司可以在光学核心成分， MEMS和其他许多分析设备上快速发展并不断进步的潜在动力。在我们生产研发的每一项产品上，科美努力通过显著的特色，较高的规格尤其是卓越的质量和技术来争取领先的位置。科美将不断努力为这一行业提供更多完整的测量和分析解决方案。 
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